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회전운동을 하는 모터에 기어를 연결해 원하는 힘과 속도로 바꾸는 역할을 하는데 산업용 로봇의 관절 역할을 하는 핵심 부품이다. 모터에서 나오는 높은 에너지를 쉬지 않고 수만 시간 전달해도 마이크로미터 단위의 변형과 파손이 없도록 설계해야 하기 때문에 모터보다 만들기 어려운 부품으로 꼽힌다. 감속기가 소형화, 정밀화되면서 물류 자동화 설비뿐 아니라 의료장비, 2차전지 생산 장비, 반도체검사장비 등 반도체 공장과 자동화 설비에 광범위하게 쓰인다.

... 격인 유리판 '포토마스크'를 올리고 빛을 가한다. 웨이퍼와 포토마스크를 정확히 포개 위치를 맞추는 기능을 하는 장비 '마스크 얼라이너'도 중요하다. 포토레지스트는 성질에 따라 빛을 가했을 때 빛에 노출된 부분만 사라지거나(포지티브), ... 위한 불순물(이온) 투입, 화학기상증착(CVD) 등 과정을 거쳐 웨이퍼 절단(칩 제조), 칩 선별과 접착, 몰딩, 검사 등을 끝으로 반도체가 완성된다. 반도체 성능 가르는 핵심 소재 포토레지스트 성분은 매우 다양하다. 폴리메틸메타...

... 회전운동을 하지만 리니어모터는 직선운동을 한다. 리니어 모터의 동작 원리는 자기장 내 전류가 흐르는 도선(導線)이 받는 힘의 방향을 설명하는 이론 중 하나인 '플레밍의 왼손법칙'으로 이해할 수 있다. 코일에 전류를 흘려보내면 영구자석과의 흡인·반발력에 의해 추진력이 발생한다. 리니어 모터는 회전운동을 직선운동으로 바꿔주는 부품이 필요 없어 카메라모듈장비, 유기발광다이오드(OLED) 생산장비, 스마트폰 생산 및 검사장비, 초정밀공작기계 등에 사용된다.

웨이퍼 에서 모든 가공공정을 마친 반도체칩을 주검사장비로 공급해주고, 검사 결과를 토대로 양품과 불량품을 등급에 따라 분류하는 자동화 장비를 말한다.