한국경제

불산플루오르화수소. 독성이 강한 부식성 기체로서 반도체 제조 공정 중 회로의 패턴을 형성하는 웨이퍼의 식각(etching)과 세정(cleaning)공정에 사용되는 소재다. 일명 "에칭가스"로도 불리는 고순도 불화수소는 스텔라 모리타 등 일본 업체가 세계 수요의 70% 이상을 생산하고 있다. 불화수소를 생산하고 관리한 역사가 100년 이상이다. 삼성전자와 SK하이닉스도 필요량의 대부분을 일본에서 수입해왔다. 솔브레인 홀딩스 등 국내 업체도 불화수소를 ...

... 연구자가 관측에 나섰으나 번번이 실패했다. 1993년 미국 물리학자들이 2개의 중성자별에서 중력파의 존재를 간접 증명한 공로로 노벨상을 받았지만, 직접 중력파를 관측한 것은 아니었다. LIGO 설립자이자 공상과학(SF) 영화 '인터스텔라'의 자문을 맡기도 했던 킵 손 캘리포니아공대 명예교수와 레이너 바이스 MIT 교수도 1997년 도전장을 던졌다. 연구진은 미국 워싱턴주 핸포드와 루이지애나주 리빙스턴에 LIGO를 짓고 중력파 검출에 착수했다. 이 검출기는 길이 ...