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한국경제 뉴스

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    3개월 만에 7조 벌었다…이재용도 줄세운 '그 회사' 초대박

    ... 193㎚(나노미터)의 14분의 1 수준인 극자외선을 쓰기 때문에 보다 정교한 작업이 가능하다. 대당 2000억원이 넘는 초고가 장비에도 앞다퉈 사가는 이유다. 반도체는 웨이퍼를 미세하게 깎을수록 품질이 올라가는데 EUV는 기존 불화아르곤(ArF) 대비 약 14배 파장이 짧아 미세 회로를 그리는 데 적합하다는 평가를 받는다. 향후 10년간 반도체 투자는 EUV 노광기 중심으로 돌아간다고 해도 과언이 아니라는 게 반도체 업계 중론이다. 삼성전자도 파운드리 분야 TSMC와의 ...

    한국경제 | 2021.10.20 20:00 | 노정동

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    위험한 일은 로봇이, 불량은 AI가 잡아내는 스마트팩토리

    ... 있음을 강조하기 위해 이런 표현을 썼다고 분석했다. EUV 장비를 활용하면 웨이퍼에 보다 얇게 선폭을 그릴 수 있다. 같은 양의 웨이퍼로 더 많은 반도체칩을 생산할 수 있다는 의미다. EUV는 기존 공정에 쓰이는 불화아르곤(ArF) 장비보다 광원이 14배가량 짧다. EUV를 적용하면 생산성이 약 20% 늘어날 것이라는 분석이 지배적이다. 현대자동차와 기아는 정보통신기술(ICT)을 기반으로 한 스마트팩토리를 구축하고 있다. 현대차·기아의 스마트팩토리는 ...

    한국경제 | 2021.10.19 15:57 | 도병욱

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    삼성, 시스템반도체 171조 투입…차세대 D램 양산체제 구축

    ... 얼마나 미세한 공정인지에 따라 웨이퍼 한 판에서 나오는 반도체칩 수가 확 달라진다. 그만큼 생산원가도 절감된다. 이 같은 미세공정이 가능하려면 반드시 극자외선(EUV) 장비가 필요하다. EUV는 기존 공정에 쓰이는 불화아르곤(ArF) 장비보다 광원이 14배가량 짧아 더 미세한 회로를 그리는 데 적합하다. 회로 선폭이 얇아지는 만큼 웨이퍼 안에 반도체칩을 더 많이 새겨넣을 수 있다. 업계 관계자는 “EUV 장비 한 대 가격이 평균 2000억원 수준인 ...

    한국경제 | 2021.10.19 15:53 | 박신영

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    미중 반도체 패권경쟁, 국내기업에 불똥…中공장 첨단장비 반입 제동

    ... 말했다. 이 관계자는 이어 "SK하이닉스는 국제규범을 준수하면서 중국 우시 공장을 지속 운영하는 데 문제없도록 노력하겠다"고 덧붙였다. EUV 공정은 반도체 포토 공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 작업이다. 기존 불화아르곤(ArF)의 광원보다 파장의 길이가 짧아(10분의 1 미만) 반도체에 미세회로 패턴을 구현할 때 유리하고 성능과 생산성도 높일 수 있는 최첨단 공정이다. SK하이닉스는 올해 처음으로 이 장비를 경기도 이천 공장에 도입했다. 또한 ASML과는 ...

    한국경제 | 2021.11.18 11:13 | YONHAP

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    北미사일에 체면 구긴 中, 대북소통·다자협상 시동걸까

    ... 한미연합훈련에 반대를 표명하는 등 북한의 입장을 반영하려 애썼다. 특히 유엔 안전보장이사회 대북 제재 결의의 가역(可逆) 조항을 발동해 민생 관련 사항을 중심으로 제재를 완화하자는 주장을 지난 8월 영상으로 진행된 아세안지역안보포럼(ARF) 외교장관 회의 등 기회가 있을 때마다 적극적으로 전개했다. 북한이 2018년 말 이후 핵실험과 대륙간 탄도 미사일 시험발사를 하지 않고 있는 점을 평가해 일단 제재를 완화한 뒤 북한이 다시 안보리 결의를 위반할 경우 완화한 제재를 ...

    한국경제 | 2021.09.16 11:51 | YONHAP

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    "북한 개혁·개방에 아세안 역할 필요…지금부터 협력해야"

    ... 싱가포르·태국·필리핀이 북한과 꾸준히 무역을 해왔고, 일부 시민단체도 북한에서 활동을 계속하고 있다고 언급했다. 특히 인도네시아는 과거 자신들이 남북 간 대화의 다리를 놓겠다는 제안을 했고, 북한이 회원국으로 있는 아세안지역안보포럼(ARF) 역시 남북 사이 대화와 갈등 해결의 장 역할을 자임했다고 부연했다. 그는 "북한이 본격적으로 국제무대에 나온다면 그 첫발은 이미 ARF를 통해 어느 정도 연계를 갖고 있고 덜 경계하는 아세안을 중심으로 한 외교무대가 될 것"이라고 ...

    한국경제 | 2021.08.20 15:30 | YONHAP

사전

포토레지스트 [photoresist] 경제용어사전

... 특수 액체를 넣어 빛의 굴절률을 더 높인다. 빛을 더 많이 모을수록 회로 패턴이 더 잘 새겨지기 때문이다. 주로 45㎚ 반도체 공정에 사용됐다. 현재 범용 최신 제품인 10㎚대 반도체를 생산할 때 쓰는 기술이 '아르곤플로라이드(ArF) 이머전리소그래피'다. ArF 가스가 내뿜는 특수광선에 이머전리소그래피를 결합한 것이다. 이 리소그래피를 쓰면 14㎚ 반도체를 생산할 수 있다. 그러나 10㎚ 이하로 만들기는 불가능하다. '일본 업체 빼고는 아무도 모른다' 10㎚ 이하 ...

극자외선 노광장비 경제용어사전

극자외선을 이용하여 반도체를 생산하는 장비. 이 장비는 빛 파장이 13.5나노미터인현재 반도체 양산 라인에 주로 쓰이는 불화아르곤(ArF) 액침 장비(193나노미터)보다 짧다. 웨이퍼에 더 미세하게 패턴을 새길 수 있다. 삼성전자는 전세계 반도체 업체 중 최초로 EUV를 적용해 7나노미터 제품을 양산하고 있다. 또한 EUV를 활용해 파운드리(위탁생산) 분야에서 대만 TSMC를 따라잡는다는 계획을 세워놓은 상태다. 하지만 2019년 7월 4일부터 일본정부가 ...

극자외선 (EUV) 공정 [extreme ultraviolet photolithography technology] 경제용어사전

... 데 있어 중요한 과정인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(extreme ultraviolet lithography) 기술 또는 이를 활용한 제조공정을 말한다. 극자외선 파장은 기존 공정기술인 불화아르곤(ArF) 광원보다 파장의 길이가 10분의 1 미만이어서, 극자외선 파장을 가진 광원으로 노광작업(레이저 광원으로 웨이퍼에 패턴을 새기는 작업)을 하면 반도체 회로 패턴을 더욱 세밀하게 제작할 수 있을 뿐더러 공정 수를 줄여 생산성을 높이고 ...

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