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한국경제 뉴스

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    멜콘 "차세대 반도체 공정에 온습도 조절기 독점 공급"

    ... 극자외선(EUV) 공정에선 멜콘의 THC 제품이 사실상 국내 독점 제품”이라며 “최근 수요가 늘고 있어 매출이 증가하는 추세”라고 말했다. 극자외선 광원을 쓴 반도체는 기존 공정에서 쓰인 불화아르곤(ArF) 광원보다 더 미세한 회로를 그릴 수 있어 글로벌 반도체 제조업체들이 앞다퉈 투자를 늘리고 있는 첨단 분야다. 삼성전자가 내년 신규 반도체 파운드리 공장으로 평택 3라인 등을 완공할 계획이어서 관련 수요는 계속 늘어날 전망이다. 멜콘의 ...

    한국경제 | 2021.12.23 17:57 | 김동현

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    [애널리스트칼럼] 반도체 장비 투자 계속 늘어난다

    ... 반도체 공정을 가능케 해주는 장비다. High NA EUV 장비 1대의 가격은 3,500억 수 준이다. 아나몰픽 광학 시스템, 마스크와 웨이퍼의 이동 속도 증가 등이 필요해 EUV 장비보다 1.5배 이상 비싸다. 현재 사용 중인 ArF 이머전 노광장비보다는 3배 이상 비싸다. 향후 시장에서 High NA EUV에 대한 관심이 높아질 것으로 예상된다. EUV 이후의 노광장비에 대한 논의가 벌써 이루어지는 이유는 EUV의 양산 도입이 너무 늦어졌기 때문이다. 과거의 ...

    한국경제 | 2021.12.02 15:18 | 박재원

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    3개월 만에 7조 벌었다…이재용도 줄세운 '그 회사' 초대박

    ... 193㎚(나노미터)의 14분의 1 수준인 극자외선을 쓰기 때문에 보다 정교한 작업이 가능하다. 대당 2000억원이 넘는 초고가 장비에도 앞다퉈 사가는 이유다. 반도체는 웨이퍼를 미세하게 깎을수록 품질이 올라가는데 EUV는 기존 불화아르곤(ArF) 대비 약 14배 파장이 짧아 미세 회로를 그리는 데 적합하다는 평가를 받는다. 향후 10년간 반도체 투자는 EUV 노광기 중심으로 돌아간다고 해도 과언이 아니라는 게 반도체 업계 중론이다. 삼성전자도 파운드리 분야 TSMC와의 ...

    한국경제 | 2021.10.20 20:00 | 노정동

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    북한, 친중 의장국 캄보디아 지지하며 "아세안과 관계발전 노력"

    ... 캄보디아가 아세안 내 주요 현안이자 미국과 중국이 첨예하게 대립하는 남중국해 문제 등에서 중국에 더 우호적인 선택을 할 수 있다는 관측이 제기되고 있다. 북한은 남중국해 등 미중 갈등 현안에서 중국을 지지하는 입장을 최근 부쩍 자주 내왔다. 북한은 전통적으로 아세안 국가들과 외교·경제 교류를 이어왔으며, 아세안과 한국, 미국, 중국, 일본 등 역외 국가로 구성된 아세안지역안보포럼(ARF)은 북한이 참여하는 유일한 다자안보 협의체다. /연합뉴스

    한국경제 | 2021.12.26 16:13 | YONHAP

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    미중 반도체 패권경쟁, 국내기업에 불똥…中공장 첨단장비 반입 제동

    ... 말했다. 이 관계자는 이어 "SK하이닉스는 국제규범을 준수하면서 중국 우시 공장을 지속 운영하는 데 문제없도록 노력하겠다"고 덧붙였다. EUV 공정은 반도체 포토 공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 작업이다. 기존 불화아르곤(ArF)의 광원보다 파장의 길이가 짧아(10분의 1 미만) 반도체에 미세회로 패턴을 구현할 때 유리하고 성능과 생산성도 높일 수 있는 최첨단 공정이다. SK하이닉스는 올해 처음으로 이 장비를 경기도 이천 공장에 도입했다. 또한 ASML과는 ...

    한국경제 | 2021.11.18 11:13 | YONHAP

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    北미사일에 체면 구긴 中, 대북소통·다자협상 시동걸까

    ... 한미연합훈련에 반대를 표명하는 등 북한의 입장을 반영하려 애썼다. 특히 유엔 안전보장이사회 대북 제재 결의의 가역(可逆) 조항을 발동해 민생 관련 사항을 중심으로 제재를 완화하자는 주장을 지난 8월 영상으로 진행된 아세안지역안보포럼(ARF) 외교장관 회의 등 기회가 있을 때마다 적극적으로 전개했다. 북한이 2018년 말 이후 핵실험과 대륙간 탄도 미사일 시험발사를 하지 않고 있는 점을 평가해 일단 제재를 완화한 뒤 북한이 다시 안보리 결의를 위반할 경우 완화한 제재를 ...

    한국경제 | 2021.09.16 11:51 | YONHAP

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포토레지스트 [photoresist] 경제용어사전

... 특수 액체를 넣어 빛의 굴절률을 더 높인다. 빛을 더 많이 모을수록 회로 패턴이 더 잘 새겨지기 때문이다. 주로 45㎚ 반도체 공정에 사용됐다. 현재 범용 최신 제품인 10㎚대 반도체를 생산할 때 쓰는 기술이 '아르곤플로라이드(ArF) 이머전리소그래피'다. ArF 가스가 내뿜는 특수광선에 이머전리소그래피를 결합한 것이다. 이 리소그래피를 쓰면 14㎚ 반도체를 생산할 수 있다. 그러나 10㎚ 이하로 만들기는 불가능하다. '일본 업체 빼고는 아무도 모른다' 10㎚ 이하 ...

극자외선 노광장비 경제용어사전

극자외선을 이용하여 반도체를 생산하는 장비. 이 장비는 빛 파장이 13.5나노미터인현재 반도체 양산 라인에 주로 쓰이는 불화아르곤(ArF) 액침 장비(193나노미터)보다 짧다. 웨이퍼에 더 미세하게 패턴을 새길 수 있다. 삼성전자는 전세계 반도체 업체 중 최초로 EUV를 적용해 7나노미터 제품을 양산하고 있다. 또한 EUV를 활용해 파운드리(위탁생산) 분야에서 대만 TSMC를 따라잡는다는 계획을 세워놓은 상태다. 하지만 2019년 7월 4일부터 일본정부가 ...

극자외선 (EUV) 공정 [extreme ultraviolet photolithography technology] 경제용어사전

... 데 있어 중요한 과정인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(extreme ultraviolet lithography) 기술 또는 이를 활용한 제조공정을 말한다. 극자외선 파장은 기존 공정기술인 불화아르곤(ArF) 광원보다 파장의 길이가 10분의 1 미만이어서, 극자외선 파장을 가진 광원으로 노광작업(레이저 광원으로 웨이퍼에 패턴을 새기는 작업)을 하면 반도체 회로 패턴을 더욱 세밀하게 제작할 수 있을 뿐더러 공정 수를 줄여 생산성을 높이고 ...

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