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사전 1-5 / 5건

포토레지스트 [photoresist] 경제용어사전

... 가하거나 첨가제를 넣으면 물성이 달라진다. 극도로 미세한 추가 공정에 따라 반도체가 고성능이 되기도 하고, 저품질이 되기도 한다는 뜻이다. 포토레지스트는 사용하는 노광장비 광원의 파장에 따라 불화크립톤(KrF·248㎚) 불화아르곤(ArF·193㎚) 극자외선(13.5㎚)용으로 구분된다. 파장이 짧을수록 미세 공정에 유리하다. 불화수소, 플루오린폴리이미드와 달리 EUV용 포토레지스트는 국산화가 쉽게 진척되지 않았다. 자외선을 활용한 리소그래피 가운데 범용 기술이 '이...

극자외선 노광장비 [extreme ultraviolet lithography equipment] 경제용어사전

... 장비. 노광은 빛으로 웨이퍼에 회로를 새기는 공정을 뜻한다. 회로를 미세하게 새길수록 웨이퍼에서 생산할 수 있는 고성능 반도체칩 수가 많아진다 이 장비는 빛 파장이 13.5나노미터인현재 반도체 양산 라인에 주로 쓰이는 불화아르곤(ArF) 액침 장비(193나노미터)보다 짧다. 웨이퍼에 더 미세하게 패턴을 새길 수 있다. EUV 장비를 생산하는 업체는 전 세계에서 ASML이 유일하다. ASML이 공급하고 있는 EUV 장비는 세계에서 가장 얇게 회로를 새길 수 있다. ...

극자외선 (EUV) 공정 [extreme ultraviolet photolithography technology] 경제용어사전

... 중요한 과정인 포토 (노광) 공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(extreme ultraviolet lithography) 기술 또는 이를 활용한 제조공정을 말한다. 극자외선 파장은 기존 공정기술인 불화아르곤(ArF) 광원보다 파장의 길이가 10분의 1 미만이어서, 극자외선 파장을 가진 광원으로 노광작업(레이저 광원으로 웨이퍼에 패턴을 새기는 작업)을 하면 반도체 회로 패턴을 더욱 세밀하게 제작할 수 있을 뿐더러 공정 수를 줄여 생산성을 높이고 ...

전자전 [electronic warfare] 경제용어사전

공격·방어의 우위를 확보하기 위해 전자적 수단으로 행하는 군사활동을 말한다. 전자전에서 가장 많이 활용되는 방법은 뭐니뭐니 해도 사이버 공격이다. 사이버 부대를 운용하는 국가가 60개국이나 된다. 2010년 미국과 이스라엘은 '스턱스넷'이란 웜 바이러스로 이란의 핵시설을 사이버 공격했다. 900~1000대의 원심분리기가 파괴된 것으로 추산되고 이란 핵활동이 1~3년 지연되는 효과를 거뒀다. 북한 사이버 부대도 만만치 않다. 2014년 소니픽처스...

아세안지역안보포럼 [ASEAN Regional Forum] 경제용어사전

아시아-태평양 지역 안보 사안을 다루는 역내 유일의 정부 간 다자 안보 협의체로써 1994년 확대외무장관회의(PMC)를 모태로 창설됐다. 아시아-태평양 지역의 안보현안에 대한 정부 간 대화 및 협의를 통해 지역의 안보와 안정성을 추구하는 것을 목표로 한다. 유엔안전보장이사회 5개국을 포함 한국, 일본, EU, 몽골 등 27개국이 회원국이다. 우리나라는 1994년 설립 때부터 회원국으로 활동하고 있으며 북한은 2000년7월 정식회원국으로 가맹했다...