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    노광장비 [lithography equipment] [phot] 경제용어사전

    노광장비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 미세한 회로 패턴을 형성하는 핵심적인 장비다. 이 장비는 감광 물질인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 뒤, 빛을 이용해 마스크(레티클)에 새겨진 회로 패턴을 포토레지스트에 전사하는 과정을 통해 작동한다. 빛에 노출된 포토레지스트가 제거되면서 웨이퍼 표면에 정교한 회로가 형성된다. 현재 반도체 제조에서 사용되는 노광 기술은 크게 EUV(극자외선)와 DUV(심자외선) 두 가지로 나뉜다. EUV 노광장비: 초미세 ...

    DJSI 월드 지수 [Dow Jones Sustainability Indices World] 경제용어사전

    ... ESG(환경사회 지배구조) 성과를 인정받아 'DJSI월드지수(DJSI World)' 편입 인증패를 받았다고 밝혔다. 5개사는 올해 DJSI 지속가능경영 평가에서 공통적으로 ▲기후변화 전략 ▲인권·공급망 관리 ▲리스크 관리 부문에서 각 산업 최상위권에 해당하는 점수를 받았다. 이는 각 계열사별로 추진한 ▲전사 차원의 ESG협의체 구축 ▲탄소중립 전략 수립 등 기후변화대응 강화 ▲사업장 및 협력사 ESG 리스크 평가 도입과 같은 다각적인 노력의 결과로 해석된다.

    감광액 [感光液] [photoresist] 경제용어사전

    빛에 노출되면 화학적 성질이 변하는 액체. 설계된 반도체 회로를 웨이퍼 위에 전사시킬 때 빛의 조사여부에 따라 달리 감응함으로서 미세회로 패턴을 형성할 수 있도록 하는 노광공정용 감광재료로 반도체와 TFT-LCD 등에 사용된다. 일본 산케이신문에 따르면 전 세계 감광액 수요의 90%를 신에쓰화학, JSR, 스미토모 등 일본 업체들이 생산하고 있다.