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- 포토레지스트 [photoresist] 경제용어사전
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... 격인 유리판 '포토마스크'를 올리고 빛을 가한다. 웨이퍼와 포토마스크를 정확히 포개 위치를 맞추는 기능을 하는 장비 '마스크 얼라이너'도 중요하다. 포토레지스트는 성질에 따라 빛을 가했을 때 빛에 노출된 부분만 사라지거나(포지티브), ... 구조변형을 가하거나 첨가제를 넣으면 물성이 달라진다. 극도로 미세한 추가 공정에 따라 반도체가 고성능이 되기도 하고, 저품질이 되기도 한다는 뜻이다. 포토레지스트는 사용하는 노광장비 광원의 파장에 따라 불화크립톤(KrF·248㎚) 불화...