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'틈새시장' 뚫은 반도체 소부장…첨단 공정은 여전히 외국산 의존
... 사용되는 초정밀 극자외선(EUV) 포토레지스트 시장의 97%는 TOK, JSR, 신에츠 등 일본 업체가 장악하고 있다. 국산 포토레지스트가 양산 라인에 적용되는 영역은 이보다 기술 난도가 낮은 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF) 포토레지스트에 국한된다. 초미세 식각 공정에 활용되는 건식 불화수소는 여전히 90% 이상을 일본에 의존하고 있다. 장비산업도 마찬가지다. 반도체 회로를 그리는 EUV 노광장비는 네덜란드 ASML이 100% 독식하고 있다. 반도체에 ...
한국경제 | 2025.06.30 17:26 | 황정환
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한국-EU, '안전하고 개방된 사이버 질서' 구축 협력
... 개방된 사이버공간 질서'를 구축하기 위한 방안을 논의했다. 한편 양측은 랜섬웨어 대응 이니셔티브(CRI) 및 상업적 스파이웨어 대응을 다루는 폴 몰 프로세스 등 악성 사이버 활동 대응 방안과 관련한 다자회의 협력 사안과 함께 △북대서양조약기구(NATO), △유럽안보협력기구(OSCE), △ 아세안지역포럼(ARF) 등 여타 다자·지역기구 내에서의 사이버안보 논의 동향을 공유했다. 이현일 기자 hiuneal@hankyung.com
한국경제 | 2025.05.20 19:00 | 이현일
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정회식 삼양엔씨켐 대표 "EUV·HBM·유리기판, 차세대 시장 잡겠다"
... 미세화 추세에 따라 시장이 커지고 있다. 올해 삼양엔씨켐의 핵심 과제는 고부가가치 제품군의 확대다. 정 대표는 “제품 포트폴리오를 범용인 불화크립톤(KrF) 제품에서 보다 미세화된 반도체 공정에 쓰이는 불화아르곤(ArF), EUV PR 소재로 넓혀나가고 있다”며 “HBM과 유리기판 공정에 쓰이는 PR 소재도 개발 및 양산이 진행 중”이라고 말했다. 노광 공정에선 회로를 그리는 빛의 파장 크기에 따라 미세도가 달라진다. ...
한국경제 | 2025.03.31 17:33 | 화성=황정환
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사전
- 불화아르곤 [ArF] 경제용어사전
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아르곤과 불소의 화합물로 무색의 가스이다. 193nm의 파장을 가진 자외선 레이저를 생성하는 데 사용되는 가장 일반적인 가스 중 하나이다. 이는 현재 반도체 제조에 가장 널리 사용되는 노광 기술인 DUV(Deep Ultraviolet) 리소그래피에 필수적이다.
- 그림자 전쟁 [Shadow Warfare] 경제용어사전
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그림자 전쟁은 공식적이거나 직접적인 전쟁 선언 없이, 자국의 개입 사실을 은폐하고 특정 국가의 중요 시설을 공격하거나 해당 국가의 핵심 인물을 암살하는 것을 의미한다. 주로 정보전, 사이버 공격, 핵 과학자 암살, 외교관 테러, 무인기 공격 등의 방식으로 이루어지며, 적국의 영토 내에서뿐만 아니라 주변국 또는 제3국에서도 이뤄질 수 있다. 이란과 이스라엘은 그림자 전쟁의 대표적인 사례로 꼽힌다. 양국은 1979년 이란의 이슬람 혁명 이후 적대적...
- 포토레지스트 [photoresist] 경제용어사전
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... 가하거나 첨가제를 넣으면 물성이 달라진다. 극도로 미세한 추가 공정에 따라 반도체가 고성능이 되기도 하고, 저품질이 되기도 한다는 뜻이다. 포토레지스트는 사용하는 노광장비 광원의 파장에 따라 불화크립톤(KrF·248㎚) 불화아르곤(ArF·193㎚) 극자외선(13.5㎚)용으로 구분된다. 파장이 짧을수록 미세 공정에 유리하다. 불화수소, 플루오린폴리이미드와 달리 EUV용 포토레지스트는 국산화가 쉽게 진척되지 않았다. 자외선을 활용한 리소그래피 가운데 범용 기술이 '이...