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상온에서 무색, 무취, 무독의 기체로 500℃ 이상의 열에서도 안전하나 불순물이 들어가면 분해되어 유독하다. 높은 절연 특성이 있어 반도체 생산공정과 가스 절연변압기나 배전반 등에 절연체로 사용되고 있다.
