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    노광장비 [lithography equipment] [phot] 경제용어사전

    노광장비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 미세한 회로 패턴을 형성하는 핵심적인 장비다. 이 장비는 감광 물질인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 뒤, 빛을 이용해 마스크(레티클)에 새겨진 회로 패턴을 포토레지스트에 전사하는 과정을 통해 작동한다. 빛에 노출된 포토레지스트가 제거되면서 웨이퍼 표면에 정교한 회로가 형성된다. 현재 반도체 제조에서 사용되는 노광 기술은 크게 EUV(극자외선)와 DUV(심자외선) 두 가지로 나뉜다. EUV 노광장비: 초미세 ...

    CNT 펠리클 [CNT pellicle] 경제용어사전

    반도체 제조 과정에서 포토마스크를 보호하는 덮개 역할을 하는 소재다. 기존 금속 실리사이드(MeSi) 소재 펠리클과 달리, 탄소나노튜브로 만든 직물 형태의 구조를 가지고 있어 EUV 빛의 투과율을 크게 높일 수 있다. 이는 2나노미터(nm) 이하 공정의 수율과 가격 경쟁력을 높일 수 있는 핵심 기술로 주목받고 있다. CNT 펠리클의 또 다른 장점은 뛰어난 내구성이다. 차세대 하이-NA EUV 장비에서 요구되는 600W 이상의 고출력에도 견딜 수 있어, ...

    화이트 리스트 [Whit List] 경제용어사전

    ... 따라서 화이트 리스트에서 제외 되었다는 것은 민감한 물품을 수출하기에 신뢰하지 않는다는 것을 의미한다. 2019년 7월 4일 일본은 한국 대법원의 강제 징용 피해자 배상 판결에 반발하여 불화수소(에칭가스), 플루오린 폴리이미드, 포토리지스트 등 3개품목에 대해 화이트리스트 목록에서 제외해 수출규제에 나섰다. 2019년 8월2일에는 한국을 '화이트 리스트'에서 제외했다. 양국은 정상화를 위해 협의를 이어왔고, 2023년 3월 일본은 반도체 품목 수출 규제를 철회했다. ...